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熱線測速計敏感元件的基本構造

2012-12-15

為了滿足熱線探針使用上的要求,希望熱線的材料具有:

①材料的電阻溫度系數高,以得到較高的測量靈敏度;
②材料必須抗腐蝕,以保證有足夠的穩定性;
③材料應有較高的機械強度,以防產生振動變形而影響測量精度;
④材科有良好的熱傳導性能.

通常,人們采用能滿足上述要求的鎢絲、鉑絲或鍍鉑鎢絲來制作熱線探針上的熱絲.

典型的熱線直徑為0.5—10 m,長度為1—3mm.這個尺寸主要從兩方面考慮:從提高熱線靈敏度來說,希望熱線直徑越細、長度較長為好,但這樣會使其機械強度和空間分辨率降低;從提高空間分辨率來說,希望熱線越短越好,但可能會影響測量的靈敏度.

為了將熱敏測速技術應用到液體流量的測量,發展了熱膜探針.它的機械強度較高,所以能適應某些條件較惡劣的流場(如污水流動的流場等).另外,它受振動的影響較小,電阻值可以由熱膜厚度調節,故較易與放大器匹配,可得到較高的信噪比.它的缺點是測量頻率范圍較窄,制作工藝復雜,工作溫度較低,這些均限制了它的應用.

熱膜深針由熱膜、襯底、絕緣層和導線幾部分構成.熱膜是用鉑噴濺在襯底上形成,厚度一般為0.1—1um左右.襯底是石英或硼酸玻璃做成的圓柱體.為了使熱膜與流體絕緣并防止被污染,在熱膜外還涂有厚度約1um左右的石英絕緣層.

來源  接地電阻熱像儀 http://www.sh-zhiyue.com/

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