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SE850 UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀

SE850 UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀

名稱:物性分析測試儀器

品牌:

型號:

簡介:簡單信息: SE850UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀可測量大尺寸材料、單層與多層膜、界面、超薄膜與厚膜的厚度與光學參數。SE850DUV特別適用于高要求的研發應用,例如測量玻璃上的薄透明膜、有機發光體、多層半導體材料復合膜、窗玻璃上的低e...

  • 產品介紹

簡單信息: SE850UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀可測量大尺寸材料、單層與多層膜、界面、超薄膜與厚膜的厚度與光學參數。SE850DUV特別適用于高要求的研發應用,例如測量玻璃上的薄透明膜、有機發光體、多層半導體材料復合膜、窗玻璃上的低e鍍層、最新微電子應用如SOI、高k和低k材料,也能分析各向異性和非均勻性樣品。選件.
SE850
 
光譜范圍: 350 nm - 1700 nm

  SE 850是SENTECH公司的紫外-可見光-近紅外光譜橢偏儀,是基于紫外-可見光波段快速二極管陣列探測器和近紅外波段快速干涉調制探測的高性能光譜橢偏儀,能夠快速獲得數據并在全波段解析。應用FT-IR光譜儀不但能夠提高測量速度、分辨率和信噪比,還能夠提供自動波長校準。

主要應用
  ·測量單層膜或多層膜的厚度和折射率
  ·在紫外-可見光-近紅外波段測量材料的光學性質
  ·測量厚度梯度
  ·測量膜表面和界面間的粗糙程度
  ·確定材料成分
  ·分析較厚的膜,厚度范圍可到30微米
  ·適合測量In攙雜的半導體材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
選項
  ·紫外光譜擴展選項,280 - 850 nm
  ·近紅外光譜擴展選項,1700 - 2300 nm
  ·計算機控制高性能消色差補償器
  ·計算機控制起偏器
  ·計算機控制自動角度計, 40º-90º, 精度0.01º
  ·手動x-y載物臺,150 mm行程
  ·電機驅動x-y載物臺,行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌圖掃描軟件
  ·透射測量樣品夾具
  ·攝象頭選項,用于樣品對準和表面檢測
  ·液體膜測量單元
  ·反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
  ·微細光斑選項
  ·自動對焦選項,結合地貌圖掃描選項
  ·SENTECH標準樣片
  ·附加許可,使SpectrRay II軟件可以用于多臺電腦

光譜橢偏儀軟件SpectraRay II
  基于windows系統的 SpectraRay II 操作軟件包括一個全面的的建模、模擬和擬合軟件包,操作向導,自動輸出結果,單鍵操作,使得軟件界面友好并且橢偏儀操作簡易。
  通過運行操作向導,能夠使操作變的簡單。操作向導能夠指導用戶完成標準的測量程序:測量數據,擬合,輸出結果。操作向導能夠將復雜的測量和擬合的設置變的簡易。
  SpectraRay II 軟件也能夠進行反射測量和透射測量。
  報告向導能夠自動完成將測量結果輸出到一個web文件。
 

商品名稱: UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀
商品型號: SE850
 

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