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捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
名稱：其他儀器與工具
品牌：
型號(hào)：
簡介：捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評的如極高的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí)，操作性能極大地簡單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其最佳性能。 ...
- 產(chǎn)品介紹
捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評的如極高的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí)，操作性能極大地簡單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其最佳性能。
捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)：
新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine（New Electron Optical Engine），是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結(jié)晶。 它綜合了透鏡控制系統(tǒng)和自動(dòng)化技術(shù)，即使改變電子光學(xué)條件，光軸的偏離也極小，大大提高了可操作性及觀察精度。 無論是誰都可以很簡便地發(fā)揮出儀器原本的功能。GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。 新開發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺(tái)施加高達(dá)5 kV的偏壓。 因此，使用GBSH模式不需要使用專用的樣品桿就可以無縫過渡到其他模式。
| 分辨率 |
1.1 nm (0.5 kV)*1、1.0 nm*2 0.7 nm (1 kV)*1、0.7 nm*2 0.7 nm (15 kV)*1、0.6 nm*2 3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)*1 *1: Gap method、*2:Edge method |
| 倍率 | ×25 ～ ×1,000,000 |
| 加速電壓 | 0.01 ～ 30 kV |
| 探針電流 | 數(shù) pA ～ 500 nA |
| 檢測器（標(biāo)配） | 高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED) |
| 電子槍 | 浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍 |
| 最佳光闌角控制鏡 | 內(nèi)置 |
| 物鏡 | 超級(jí)混合式物鏡/SHL |
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、自動(dòng)調(diào)節(jié)亮度、自動(dòng)調(diào)節(jié)襯度 |
| 大景深模式(LDF) | 內(nèi)置 |
| 樣品臺(tái) | 全對中測角樣品臺(tái) |
| 樣品移動(dòng) | X:70mm Y:50mm Z:2 ～ 41mm 傾斜軸:-5 ～ 70° 旋轉(zhuǎn):360° |
| 馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
| 樣品交換室 | 最大直徑: 100mm 最大高度: 40mm |
| 抽真空系統(tǒng) | SIP、TMP、RP |
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